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本文標題:"亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數據精度"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2014-11-13 17:30:3

亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數據精度

 
 
  在現有的精密檢測技術條件下,要求現高精度的
檢測,則需亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s
數據精度的角度計,但是,以高精度的掃描基準來
進行測量是非常困難的,因為掃描形狀測量的精度
是由掃描引導的運動精度決定。
 
 
  工作機械直線運動機構的高精度化是精密檢測技
術的保證,運動機構的運動誤差是評價精度必要的
手段。高精度的直定規(guī)等是測量運動基準的最后一
般辦法,但在測量移動范圍很大的計測法等,開發(fā)
出了以激光光線為基準的測量法。
 

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